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第三百三十六章 风向变了(第1页)

通城,智云微电子总部,徐申学看了第二厂,视察了当地的十二纳米产线后,又去看了已经完成了厂房施工的第二十五厂。

第二十五厂,也是智云微电子为等效七纳米工艺所准备的工厂,从厂房再到设备,全部都是按照等效七纳米工艺所准备的,整体投资预计会超过八十亿美元,相当夸张。

“我们准备在第二十五厂里,同时建设两条产线,一条产线采用进口的ASML公司的NXT1980光刻机,第二产线则是采用海湾科技的HDUV-600光刻机!”

“两种光刻机的套刻精度都是二点五纳米,按照我们的设计方案,都是能够满足等效七纳米工艺的技术需求!”

“为了确保等效7纳米工艺准时准点的完成技术认证,我们在第一产线上全部使用进口设备,目前所有设备都已经下单,部分已经到货,第一台NXT1980光刻机将会在十天后到货,所有设备将会在今年十二月份前全部到货,明年第一季度就能够完成设备的安装和调试,并展开技术认证工作。”

“乐观的话,明年第三季度就能完成技术认证,开始为量产化进行准备,但是考虑到四重曝光带来的低良率问题,我们想要解决这个低良率问题预计也需要大量的时间。”

“想要大规模出货的话,恐怕还要到后年的第一季度。”

“而我们的主要竞争对手台积电,按照他们公布的计划来看,他们的进度表和我们的也类似,毕竟我们是采用同一批的光刻机进行等效七纳米工艺产线的搭建,而光刻机的到货时间我们也差不多,硬件设备处于同一时间段,具体时间表也类似。”

“至于后续谁能够做到领先,这还需要看彼此工艺技术上的比拼,而这一领域上我们是有优势。”

“而四星那边也公布了八纳米工艺计划,但是根据目前的情报来看,他们的八纳米工艺在技术指标上看起来应该是十纳米工艺节点改进,性能提升不会很大,属于十纳米和七纳米工艺之间的过渡节点,类似他们的十一纳米以及我们的十二纳米工艺。”

“而我们则是直接跳过了八纳米工艺,直接搞七纳米工艺。”

“他们的七纳米工艺还要更往后一些。”

“至于英特尔的话,他们并没有公布等效七纳米工艺,而是正在推进十纳米工艺的节点,不过他们的这个十纳米工艺节点在技术参数上,其实比我们的等效七纳米工艺还要更高一些。”

“然而技术参数更高,也意味着更难,按照我们的预估,他们估计要更晚时间才能搞出来。”

“按照目前收集的一些情报来推算他们的工艺节点研发,短期内我们在七纳米工艺上的主要竞争对手,还是台积电;英特尔的十纳米和四星的七纳米,会比我们晚不少!”

“在等效七纳米节点的竞争中,我们将会维持领先优势!”

丁成军对等效七纳米工艺的时间表,表现出来了极大的自信,这是基于梁松教授为核心的工艺研发团队来带的自信。

“我们已经完成了四重曝光的基本理论以及工艺流程,就等着用这一批光刻机进行下一步阶段的各项测试工作了。”

“等第一台NXT1980光刻机到货后,我们就会使用这台光刻机进行前期的技术测试,验证工作。”

——————

丁成军此时,又指着第二十五厂的另外一个庞大厂房道:“这是我们第二十五厂的第二产线,基于扶持国产设备的缘故,我们的第二产线上将会尽可能采用国产设备,哪怕为此付出一些生产成本的上涨!”

“第二产线上,核心设备包括海湾科技正在研发的HDUV-600型光刻机,此外还包括辅助使用的HDUV-500型号光刻机以及HKRF-34光刻机等,同时也包括后道光刻机,蚀刻机以及离子注入机等核心设备,只要海湾科技有的,技术指标能够达到要求的,我们都会使用!”

“该产线的进度表也和第一产线类似,虽然核心的HDUV-600光刻机到货会晚一些,不过问题不大,应该也能够在后年的第二季度完成量产化。”

“只不过该产线的生产效率要低一些,成本也会更高一些!”

“生产效率上,还需要海湾科技继续努力了!”

徐申学一边听着,一边看着手中的技术报告。

两条等效七纳米工艺的产线,一条是清一色进口,而另外一条则是国产和进口设备混搭。

其他的都还好,但是在光刻机领域还是可以看到明显的差距。

这个时候,跟着徐申学一起过来考察的海湾科技的CEO王道林道:“我们的HDUV-600型光刻机和ASML的NXT1980光刻机在核心的三大硬性指标上都是一样的。”

“分辨率都是38纳米,数值孔径一点三五,套刻精度都是二点五纳米。”

“这三大核心指标也是做等效七纳米工艺的硬性指标,少一个都不行。”

“不过除了这三个核心指标外,还有一个指标上我们的HUDV-600光刻机就存在一些差距了,那就是WPH,即每小时处理晶圆片的数量。”

“这个数据越大,光刻机单位时间内的产量就越大,产量越大,生产效率越高!”

“作为对比,ASML的NXT1980光刻机,其WPH是二百七十五片。”

“我们的HDUV-600光刻机的WPH,设计指标差一些,只有两百四十五片。”

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