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如果这样还无法成功,那么就说明,这个图纸出了问题!
极紫外光刻机太重要了。
有了它,只要有了芯片图纸,就可以制造出来相应的芯片!
无论是现在的7n,或者国外刚刚出来的5n,还是传言三年后才能研发出来的3n!
极紫外光刻机都可以做到!
终于,在大家的期待之下,进度条成功拉满!
一块晶圆被吐了出来,机械臂再度将其抓起,放入了烘焙机。
按理来说,这一步光刻机的工作已经完成。
但是这并不代表成功。
因为没人能知道,这块芯片是否具备实用性。
就好像是超市买的包子,谁知道里面有多少馅儿?
硅片曝光之后进行后烘,将近一百度的热风吹了硅片一分钟。
加热后光刻胶之中的光化学反应充分完成,消除掉光刻胶显影之后因为驻波效应产生的纹路。
这还没有完成。
硅片很快被放入了刻蚀机。
这个步骤不复杂,只是将暴露的单晶硅腐蚀掉一层。
露出光刻后的凹槽。
然后注入离子,让单晶硅拥有晶体管开关的特性。
在用铜进行晶体管间的连接工作。
在芯片彻底产出之前,大家都不敢说话。
时间一分一秒过去,终于到了切割的步骤。
终于,晶圆被切割成了700片小的芯片。
陆晨这个时候立刻去开始查看数据。
随后他疲惫的脸露出了一抹轻松。
他看向自己的老师,对方已经明白了结果。
“我宣布,国产第一台极紫外光刻机,研制成功!”
声音徐徐落下,所有科研人员都猛地起身,发出了雷鸣一般的掌声!
甚至有的人激烈的拥抱在了一起!
“成功了!!!!价值十亿的光刻机啊!!!!”
“总算打破垄断了!!”
“现在,我们在议价方面底气十足!”
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