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第三十四章 国产第一台极紫外光刻（第2页）

如果这样还无法成功，那么就说明，这个图纸出了问题！

极紫外光刻机太重要了。

有了它，只要有了芯片图纸，就可以制造出来相应的芯片！

无论是现在的7n，或者国外刚刚出来的5n，还是传言三年后才能研发出来的3n！

极紫外光刻机都可以做到！

终于，在大家的期待之下，进度条成功拉满！

一块晶圆被吐了出来，机械臂再度将其抓起，放入了烘焙机。

按理来说，这一步光刻机的工作已经完成。

但是这并不代表成功。

因为没人能知道，这块芯片是否具备实用性。

就好像是超市买的包子，谁知道里面有多少馅儿？

硅片曝光之后进行后烘，将近一百度的热风吹了硅片一分钟。

加热后光刻胶之中的光化学反应充分完成，消除掉光刻胶显影之后因为驻波效应产生的纹路。

这还没有完成。

硅片很快被放入了刻蚀机。

这个步骤不复杂，只是将暴露的单晶硅腐蚀掉一层。

露出光刻后的凹槽。

然后注入离子，让单晶硅拥有晶体管开关的特性。

在用铜进行晶体管间的连接工作。

在芯片彻底产出之前，大家都不敢说话。

时间一分一秒过去，终于到了切割的步骤。

终于，晶圆被切割成了700片小的芯片。

陆晨这个时候立刻去开始查看数据。

随后他疲惫的脸露出了一抹轻松。

他看向自己的老师，对方已经明白了结果。

“我宣布，国产第一台极紫外光刻机，研制成功！”

声音徐徐落下，所有科研人员都猛地起身，发出了雷鸣一般的掌声！

甚至有的人激烈的拥抱在了一起！

“成功了！！！！价值十亿的光刻机啊！！！！”

“总算打破垄断了！！”

“现在，我们在议价方面底气十足！”

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