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第17章 折服技术核心（第2页）

“你们准备设备，我来更新调试对准误差补偿量参数，我们现在就尝试一下！”

其实不用尝试，康硕对这种方法有着极度的自信，因为这本就是被证明过的实施方案。

当然，只是在130n~48n这个区间有效，再往上，那就是另一个层次的事情了，影响因素会更多。

康硕有信心，但工厂的技术人员没有啊，此刻，他们的内心就像是猫爪子挠一般——急切的想要知道结果。

这个级别的技术也不算是什么核心，在工厂内核心技术人员都签署了保密协议和竞业限制的情况下，康硕也就没有藏着掖着，直接就带着他们开搞了。

这一搞，就是不分昼夜。

……

“成功了！我们成功了！”

工厂里，一群丝毫不修边幅的技术人员满眼血丝，但他们神色激动，大声惊呼。

几乎是几天不眠不休的奋战，结果没有令他们失望。

整套系统升级后，完美的实现了他们对对准误差补偿调整的设想，他们成功的制作出第一批的110n制程工艺的样片，把整个工厂的技术能力提升了一个层次。

而这，全都是眼前的整个刚满二十周岁的年轻人带来的。

“老大！”

一群或大或小，但最小的也要比康硕大好几岁的人心悦诚服的叫着康硕老大，技术领域里，那就是达者为先。

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这些天，于东一直在江州，保证5g射频芯片投产就是他目前最大的工作，其他的一切都要往后靠。

产线改造完成试生产的这天，于东也是第一时间过来参观。

“这……”绕着看起来颇有些丑陋的“注程机”，于东转了好几圈，完全看不明白这玩意儿究竟是如何工作的：“不是说跟光刻机的作用差不多吗？这差别也太大了！”

光刻机非常笨重和复杂，一台顶尖的光刻机管是安装调试有时候都需要半年之久。但光科技的原理却又很简单，稍微有点专业知识的人就很容易能够理解。

即便不是专业人士，那早一二十年，胶片洗照片的流程不难吧？

光刻机的原理跟那个洗黑白照片的家伙一模一样，当然了，精密度不是一个量级，光刻机要精密太多了。

而“注程机”就完全不一样了，外观看起来，它的结构非常简单，简单到一览无遗。

多数的元器件都是非常常见非常熟悉的，一看都认识。但这组合起来是怎么工作的来着？完全一头懵。

除了康硕，没人知道它具体是怎么工作的。

于东识趣的没有开口问，他知道问了康硕也不可能告诉他，讪讪的压下了内心十足的好奇。

……

“现在进行的外圈的光刻过程，事实上跟传统芯片的生产过程是完全一样的，只不过，硅片从这里出来之后，进入封装测试流程之前，需要多加一步‘注程’的步骤。”

这里的核心技术人员康硕都很熟悉，之前都是一起聊过很久的，他也是一步一步的帮助一线调试各类程序，给他们讲解原有的，或者是新增的流程，这算是回归上辈子的老本行——产线调试了。

“还有这儿，你们也都知道，沪都微电子的ssc600杠10系列光刻机，官方数据是能够满足12寸晶圆110n精度光刻需求的。锡州一家公司，包括台积电的金陵工厂，用同款的光刻机甚至实现了90n级别的实验室生产。”

康硕接着说道：“我们只能完成130n的量产，问题在哪儿呢？这儿！掩膜版与与晶圆的对准流程就是我们整个生产过程这个木桶最短的那根木板，解决了这个问题，至少达到官方数据的水准，量产110n是毫无问题的。”

听康硕说这些，在场的技术核心内心毫无波动。

材料热胀冷缩的特性就会造成掩膜版和晶圆片的对准精度误差，他们早就发现了，也知道问题出在这儿。

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